Силицијумски резонантни сензор диференцијалног притиска

Силицијумски резонантни сензор диференцијалног притиска је врста резонантног сензора произведеног коришћењем технологије микромашинске обраде силикона, посебно дизајнираног за мерење разлике притиска између два улаза притиска. Његов основни принцип је одређивање вредности диференцијалног притиска мерењем промене природне фреквенције једног-кристалног силицијумског резонантног снопа.

 

Савршено комбинује предности три напредне технологије:

1. Мерење диференцијалног притиска:Погодно за критичне апликације као што су мерење протока и нивоа.

2. Резонантни принцип:Пружа неупоредиву прецизност и дугорочну{0}} стабилност.

3. Силицијум МЕМС технологија:Омогућава минијатуризацију, серијску производњу и високу поузданост.

Његово језгро је сложена микроструктура направљена на силицијумској плочици коришћењем МЕМС технологије.

Основна структура:

• Стаклена{0}}силицијумска-трослојна{2}}слојна структура стакла.
• Горњи слој стакла: Садржи улазне рупе под притиском повезане са страном високог{0}}притиска.
• Доњи стаклени слој: Садржи улазне рупе под притиском повезане са страном ниског{0}}притиска.
• Средњи слој силикона: микромашински обрађен и садржи:

Сензорна дијафрагма: Танка, али робусна силиконска дијафрагма која осећа разлику притиска са обе стране.

Резонантне греде: Смештене изнад (или интегрисане унутар) сензорне дијафрагме, ово су висеће структуре силиконског снопа. Обично постоје два идентична резонантна зрака унутар једног сензора, који се налазе у центру и на ивици дијафрагме, респективно.

Погонске електроде и{0}}покретне електроде: Користе се за побуђивање резонантних зрака у вибрацију и откривање њихове фреквенције вибрације.

Оперативни процес:

• Примена диференцијалног притиска: Висок притисак (П1) и низак притисак (П2) делују на обе стране сензорске дијафрагме.
• Деформација дијафрагме: Разлика у притиску узрокује да се мембрана са сензором подвргне малој деформацији савијања.
• Генерисање напрезања: Ова деформација ствара расподелу напона на дијафрагми:

Резонантни сноп у центру дијафрагме доживљава притисак на притисак.

Резонантни сноп на ивици дијафрагме доживљава затезни напон.

Промена фреквенције:

Према резонантном принципу, притисак на притисак узрокује смањење његове резонантне фреквенције.

Затезни напон узрокује повећање његове резонантне фреквенције.

Диференцијално мерење: Сензор мери разлику фреквенције између два резонантна зрака (Δф=ф₁ - ф₂).

Излаз је разлика између две резонантне фреквенције, што нуди значајне предности:

Уобичајена{0}}одбијање грешке у режиму:

• Температурни ефекти:Ако се температура повећава, фреквенције оба резонантна зрака се мењају у истом правцу (нпр. оба се смањују), али њихова фреквенцијска разлика остаје непромењена.
• Ефекти статичког притиска:Сличан статички притисак примењен на обе стране утиче на оба снопа слично, а њихова фреквенцијска разлика такође остаје стабилна.
• Изузетно висока прецизност и резолуција:Фреквенција се може мерити са изузетном прецизношћу, што резултира веома високом резолуцијом сензора и поновљивошћу, са прецизношћу која достиже ±0,075% или чак више.
• Инхерентно дигитално:Излаз је сигнал фреквенције, који нуди снажну способност против-ометања и који је лак за обраду дигиталним системима.

Popularne oznake: силицијум резонантни сензор диференцијалног притиска, Кина добављачи силицијум резонантног сензора диференцијалног притиска